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材料微觀行為研究正迎來多場(chǎng)景耦合、原位動(dòng)態(tài)表征的新時(shí)代。國(guó)儀量子推出創(chuàng)新性原位力學(xué)解決方案，憑借卓越的開放兼容性，實(shí)現(xiàn)全系列電鏡產(chǎn)品與市面上主流原位測(cè)試設(shè)備的無縫對(duì)接，為材料科學(xué)研究提供靈活、高效的多場(chǎng)景耦合分析平臺(tái)。該解決方案突破傳統(tǒng)封閉系統(tǒng)的局限，集合各種原位電鏡適配關(guān)鍵要素與一身，具備以下特點(diǎn)：大束流：優(yōu)于100nA，有利于快速分析EDS，EBSD等相關(guān)信息大空間：360MM×310MM×288MM（長(zhǎng)寬高）大承重：5Kg（定制夾具最多支持10Kg）多視角：多位CCD保...

在材料高溫性能研究、相變機(jī)理分析等領(lǐng)域，傳統(tǒng)外部加熱手段往往無法實(shí)現(xiàn)微區(qū)精準(zhǔn)控溫與實(shí)時(shí)觀測(cè)的結(jié)合。國(guó)儀量子聯(lián)合中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)微納中心，自主研制原位加熱芯片解決方案，通過MEMS加熱芯片與雙束電鏡的深度融合，實(shí)現(xiàn)樣品在室溫至1100℃范圍內(nèi)的精準(zhǔn)控溫與微觀動(dòng)態(tài)分析，為高溫環(huán)境下材料行為研究提供全新工具。該方案采用國(guó)儀自研雙束電鏡與專用MEMS加熱芯片，控溫精度優(yōu)于0.1℃，測(cè)溫分辨率優(yōu)于0.1℃，同時(shí)具備溫度均勻性好、紅外輻射少等優(yōu)勢(shì)，有效保障高溫下的分析穩(wěn)定性。系統(tǒng)支持在加...

在材料分析與表征領(lǐng)域，單一技術(shù)往往難以同時(shí)獲取納米尺度的形貌與分子級(jí)別的化學(xué)信息。國(guó)儀量子創(chuàng)新推出電鏡-拉曼聯(lián)用解決方案，實(shí)現(xiàn)掃描電鏡高分辨率成像與拉曼光譜化學(xué)分析的真正原位融合，為多維度材料研究提供強(qiáng)大工具。國(guó)儀量子電鏡-拉曼聯(lián)用解決方案通過光路優(yōu)化與系統(tǒng)集成兩種方式，在同一平臺(tái)完成微區(qū)定位、形貌觀測(cè)與拉曼檢測(cè)，徹底解決傳統(tǒng)跨設(shè)備分析中的定位誤差問題。用戶可在SEM圖像中精準(zhǔn)鎖定目標(biāo)區(qū)域（如缺陷、界面、納米顆粒），直接激發(fā)拉曼激光，同步獲取成分、物相、應(yīng)力分布等化學(xué)結(jié)構(gòu)信息...

在半導(dǎo)體制造邁向更精細(xì)工藝的時(shí)代，晶圓級(jí)缺陷分析、失效定位與微納加工已成為提升良率的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。國(guó)儀量子推出8英寸晶圓雙束全尺寸加工解決方案，集高分辨率成像與精準(zhǔn)離子束加工于一體，實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓的“觀測(cè)-分析-切割”全流程覆蓋，為半導(dǎo)體先進(jìn)制程提供強(qiáng)大技術(shù)支撐。該方案搭載150mm大行程高精度樣品臺(tái)，可支持8英寸晶圓全域無損觀測(cè)與加工，配合外置光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng)與智能防碰撞算法，實(shí)現(xiàn)晶圓的快速、精準(zhǔn)定位與安全操作。系統(tǒng)配備肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍，分辨率達(dá)0.9nm@15kV，離子束分辨率達(dá)3...

在半導(dǎo)體制造邁向更精細(xì)工藝節(jié)點(diǎn)的今天，晶圓缺陷檢測(cè)已成為決定良率與性能的關(guān)鍵。國(guó)儀量子推出新一代12寸晶圓掃描電鏡解決方案，以突破性技術(shù)實(shí)現(xiàn)晶圓全域、無需轉(zhuǎn)動(dòng)與傾斜、無損、高分辨率檢測(cè)，為先進(jìn)制程提供堅(jiān)實(shí)支撐。該方案配備超大行程樣品臺(tái)（X/Y≥300mm），可全面覆蓋12寸晶圓，無需切割或轉(zhuǎn)移樣品，真正實(shí)現(xiàn)“原尺寸、原位置”觀測(cè)。系統(tǒng)搭載肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍，在15kV下分辨率達(dá)1.0nm，即便在1kV低電壓下仍保持1.5nm超高分辨率，極大降低電子束損傷，尤其適用于敏感結(jié)構(gòu)與...